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質(zhì)量流量控制器

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氣體流量控制器

更新時(shí)間：2026-06-15

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氣體流量控制器支持?jǐn)?shù)字量輸入/輸出,設(shè)備自體可帶多功能觸摸顯示屏，亦可采用流量計(jì)算機(jī)控制和顯示流量，可以提供帶有可選配的多介質(zhì)/多量程的功能。
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GRYLLS 5950高精度質(zhì)量流量控制器

更新時(shí)間：2026-06-15

型號：GRYLLS 5950

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GRYLLS 5950系列高精度質(zhì)量流量控制器參數(shù) 0.5sccm – 6000 slm 全量程Grylls5950系列質(zhì)量流量控制器支持?jǐn)?shù)字量輸入/輸出,設(shè)備自體可帶多功能觸摸顯示屏，亦可采用流量計(jì)算機(jī)控制和顯示流量，可以提供帶有可選配的多介質(zhì)/多量程的功能。
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5901熱式GRYLLS格里爾斯氣體測試質(zhì)量流量控制器

更新時(shí)間：2026-06-15

型號：5901熱式

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GRYLLS格里爾斯氣體測試質(zhì)量流量控制器采用熱式原理，預(yù)熱時(shí)間短，精度高，零飄小，管狀分流，不易堵塞，適用于各種低壓和高壓管道，流量可達(dá)6000SLM,并可實(shí)現(xiàn)數(shù)字/模擬控制模式，產(chǎn)品采用高速控制算法，0.5sccm – 6000 slm 全量程，支持?jǐn)?shù)字量輸入/輸出,設(shè)備自體可帶操控按鍵和顯示屏。
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5900熱式Grylls格里爾斯熱式質(zhì)量流量控制器

更新時(shí)間：2026-06-15

型號：5900熱式

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Grylls格里爾斯熱式質(zhì)量流量控制器，熱式原理， 0.5sccm – 6000 slm 全量程，支持?jǐn)?shù)字量輸入/輸出,設(shè)備自體可帶操控按鍵和顯示屏，亦可采用流量計(jì)算機(jī)控制和顯示流量，可以提供帶有可選配的多介質(zhì)/多量程的功能。預(yù)熱時(shí)間短，精度高，零飄小，管狀分流，不易堵塞，適用于各種低壓和高壓管道，流量可達(dá)6000SLM,并可實(shí)現(xiàn)數(shù)字/模擬控制模式。
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GRYLLS5900格里爾斯質(zhì)量流量控制器

更新時(shí)間：2026-06-15

型號：GRYLLS5900

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格里爾斯質(zhì)量流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制，在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場合包括：電子工藝設(shè)備，如擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。
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5920氣體質(zhì)量流量控制器

更新時(shí)間：2026-06-15

型號：5920

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氣體質(zhì)量流量控制器采用毛細(xì)管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進(jìn)行放大，然后與設(shè)定的電壓進(jìn)行比較，用所得的差值去驅(qū)動(dòng)控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。
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5950高精度質(zhì)量流量控制器

更新時(shí)間：2026-06-29

型號：5950

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GRYLLS(格里爾斯)高精度質(zhì)量流量控制器由質(zhì)量流量傳感器，層流分層件，流量控制器調(diào)節(jié)閥和放大控制電路等部件組成,它利用流動(dòng)流體傳遞熱量改變測量毛細(xì)管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)而制成。
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質(zhì)量流量控制器

更新時(shí)間：2026-06-15

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Grylls8100科氏力質(zhì)量流量控制器將這項(xiàng)技術(shù)應(yīng)用于非常低的流量測量，并且內(nèi)部集成PID控制器和批量功能，實(shí)現(xiàn)流量控制或者定量給料。
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