質(zhì)量流量控制器_第(2)頁-格里機(jī)電（無錫）有限公司

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質(zhì)量流量控制器

氣體質(zhì)量流量控制器差壓式質(zhì)量流量控制器科里奧質(zhì)量流量計(jì) 流量控制器熱式流量控制器

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國(guó)產(chǎn)質(zhì)量流量控制器：該產(chǎn)品由質(zhì)量流量傳感器，層流分層件，流量控制器調(diào)節(jié)閥和放大控制電路等部件組成。它利用流動(dòng)流體傳遞熱量改變測(cè)量毛細(xì)管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)而制成。
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通用型質(zhì)量流量控制器

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GRYLLS通用型質(zhì)量流量控制器，GRYLLS-31系列數(shù)字型質(zhì)量流量計(jì)/控制器由質(zhì)量流量傳感器，層流分層件，流量控制器調(diào)節(jié)閥和放大控制電路組成，采用數(shù)字信號(hào)輸入輸出，具有預(yù)熱時(shí)間短，零漂小，可靠性高等特點(diǎn)。
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GRYLLS5900格里爾斯質(zhì)量流量控制器

更新時(shí)間：2026-06-15

型號(hào)：GRYLLS5900

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格里爾斯質(zhì)量流量控制器用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制，在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括：電子工藝設(shè)備，如擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀及其他分析儀器。
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5921DD4熱式氣體流量控制器

更新時(shí)間：2026-06-15

型號(hào)：5921DD4

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熱式氣體流量控制器5921DD4 ◆熱式原理,響應(yīng)快,精度高 ◆格里爾斯GRYLLS-5950系列模擬式質(zhì)量流量計(jì)管狀分流,不易堵塞 ◆適用于各種低壓和高壓管道 ◆預(yù)熱時(shí)間短,零漂小,可靠性高 ◆模擬量輸入/輸出,可使用二次表或流量計(jì)算機(jī)控制和顯示流量
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8110DD4熱式氣體質(zhì)量流量控制器

更新時(shí)間：2026-06-15

型號(hào)：8110DD4

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熱式氣體質(zhì)量流量控制器8110DD4由質(zhì)量流量傳感器,層流分層件,流量控制器調(diào)節(jié)閥和放大控制電路等部件組成。它利用流動(dòng)流體傳遞熱量改變測(cè)量毛細(xì)管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)而制成。
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5910D4GRYLLS數(shù)字量氣體流量控制器

更新時(shí)間：2026-06-15

型號(hào)：5910D4

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GRYLLS數(shù)字量氣體流量控制器用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。它們?cè)诎雽?dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括：電子工藝設(shè)備，如擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；
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5930D4GRYLLS差壓式液體流量控制器

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型號(hào)：5930D4

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GRYLLS差壓式液體流量控制器采用無熱漂移，無響應(yīng)滯后的差壓質(zhì)量測(cè)量原理，無熱漂移，可以忽略的溫移和時(shí)漂，長(zhǎng)期穩(wěn)定性0.1%F.S/年，準(zhǔn)確度1.0%，量程可在100：1范圍內(nèi)按鍵設(shè)定，無需標(biāo)定，可以同時(shí)顯示和輸出：瞬時(shí) 流量、累計(jì)流量、壓力、溫度等。
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GRYLLS-6610差壓式質(zhì)量流量控制器

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型號(hào)：GRYLLS-6610

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